辽宁省发展和改革委员会于6月16日，在沈阳市主持召开了“IC成膜PECVD设备研发和产业化”项目验收会。该项目是由中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司承担的国家高技术产业化示范工程项目。验收委员会认真听取、审阅了项目验收报告及相关资料，并对建设现场进行了考察，经质询和讨论，同意该项目通过验收。

验收意见指出：沈阳科仪公司完成了国家发展改革委复函中所确定的建设内容。在6英寸PECVD设备控制系统软硬件设计和零部件国产化方面实现了突破，零部件国产化率达到70%以上，整机性能达到或超过国际同类产品水平。